型号

Vertex251HM/HC

Vertex251UM/UC

Vertex311HM/HC

Vertex311UM/UC

XY 精度 

Uxy=2.0+L/200 

Uxy=1.8+L/200 

Uxy=2.6+L/200 

Uxy=2.0+L/200 

Z 精度 

Uz=2.0+L/150

Uz=2.0+L/150 

Uz=2.0+L/150

Uz=2.0+L/150 

XY 重现性 

2.0μm

1.8μm 

2.6μm 

2.0μm 

Z 重现性 

2.0μm 

2.0μm 

2.0μm

2.0μm 

XY 加速度 

500mm/S2 

Z 加速度 

200mm/S2

XY 移动速度 

250mm/s 

Z 移动速度 

100mm/s 

光学尺分辨率 

0.1μm

量测行程 

250x160x160mm 

315x315x160mm 

外形尺寸 

606x800x775mm 

720x1085x1030mm 

重量 

120kg 

150kg 

承载重量 

10kg 

12kg 

基座材质 

铝合金

传动方式 

Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z 

电控系统 

伺服系统: CNC, 鼠标,摇杆

光学系统&放大倍率 

6.5:1光學Zoom,20-390x

12:1光學Zoom,15-540x

6.5:1光學Zoom,20-390x

12:1光學Zoom,15-540x

影像&光源 

红光LED (黑白系统)或白光 LED(彩色系统) 

软件 

InSpec for Windows Metrology Software 

工作环境 

20℃±2°,30-80% 湿度

备注 

Vertex311系列可选择加高型,Z轴250mm