型号

Excel661UM

Excel661UC

Excel662UM

Excel662UC

Excel664UM

Excel664UC

测量行程

650x650x160mm

650x650x250mm

650x650x400mm

外形尺寸

1311x1604x1608mm 

1311x1604x1788mm

1311x1604x2088mm 

重量 

1530kg 

1550kg 

1550kg 

承载重量 

100kg 

100kg 

100kg 

平台材质 

钢构 

基座材质 

花岗岩 

传动方式 

Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z

电控系统 

伺服系统: CNC, 鼠标, 摇杆 

电源系统 

93-264 VAC, 47-63 Hz,最大10 Amp 

XY 精度 

Uxy=2.5+L/300μm

Uxy=2.8+L/300μm

Uxy=3.2+L/300μm

Z 精度 

Ux=2.5+L/150μm

Ux=3.0+L/150μm

Ux=3.5+L/150μm

XY 重现性 

2.5μm

2.8μm

3.2μm

Z 重现性 

2.5μm

3.0μm

3.5μm

XY 加速度 

1000mm/S2

Z 加速度 

500mm/S2

XY 移动速度 

500mm/s

Z 移动速度 

150mm/s

光学尺分辨率 

0.1μm

影像 

黑白 

彩色 

黑白 

彩色 

黑白 

彩色 

光源 

红光LED

白光LED

红光LED

白光LED

红光LED

白光LED

照明系统 

表面光, 轮廓光,同轴光 

光学系统/放大倍率 

12x 光学/3x 数字 Zoom / 15x~1200x 放大倍率 

软件 

InSpec for Windows Metrology Software(2000/XP/Vista)

工作环境 

20℃(68℉)±2°,30-80%湿度