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MJM系列测量金相显微镜
产品类型:测量显微镜
产品产地:中国
产品应用:精密测量
测量型金相显微镜
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产品用途
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测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统,可人工观察金属表面的金相组织结构,是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主,也可作三维辅助测量,广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。
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产品特点
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● X、Y、Z轴0.5μm分辨率;
● 可选配白光纳米检测模组; ● Z轴粗调/微调旋钮; ● 同轴表面光/底光测量; ● 内建偏光量测光学模块; ● 可量测透明材质纳米级高度差 |
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规格型号
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MJM-1510M
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MJM-2010M
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工作行程X、Y、Z轴
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150*100*120(mm)
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200*100*120(mm)
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金属台尺寸
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210*160(mm)
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260*160(mm)
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玻璃台尺寸
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354*228(mm)
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404*228(mm)
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光学尺分辨率
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0.5μm
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示值误差
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X、Y坐标≤(3+L/75)μm (L为测量长度,单位mm)
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影像系统
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彩色1/2"CCD摄像机;640*480像素;结合测量软件
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显微镜系统
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目镜:10倍
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滤光片:红,蓝,绿,白
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测量模式:反射,透射,偏光
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5孔物镜转换器
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物镜放大倍率误差
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包括畸变在内的放大率误差≤0.008%
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总放大倍数
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50X——500X
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照明系统
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透射照明光源:白光LED,亮度可调
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同轴照明光源:卤素灯,亮度可调
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物镜
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倍率
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5X
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10X
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20X
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50X
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工作距离(mm)
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26.1
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20.2
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8.8
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3.68
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高度量测模块(选配件)
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光干涉高度量测模块(M10-CA),高度量测分辨力0.5μm(选配)
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倍率:10X,工作距离5mm,光学分辨力2μm
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其它参数
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外形尺寸(mm)
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590*560*850
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仪器重量(kg)
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100
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110
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电源功耗
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110V—220V 50/60Hz <60W
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单层透明膜厚度测量模式
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高精度测量模式
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快速测量模式
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厚度测量范围
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100nm-300nm
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300nm-500nm
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500nm-3μm
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3μm-20μm
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分辨力
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5nm
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5nm
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7.5nm
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0.1μm
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